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油擴(kuò)散泵的使用與維護(hù)
影響擴(kuò)散泵性能的主要因素
影響擴(kuò)散泵性能的主要因素有:
(1)擴(kuò)散泵油蒸氣的返流，解決的方法是在真空系統(tǒng)上加裝冷阱，能有效地防止油蒸氣的返流。
(2)氣體分子的反擴(kuò)散，通過在高真空機(jī)組中增加羅茨泵或雙機(jī)械泵，增大前級泵的抽速，降低擴(kuò)散泵出氣口的壓力，這樣不僅可減少氣體分子的反擴(kuò)散，而且還能減少油蒸氣的返流。
(3)擴(kuò)散泵油的裂化分解，采用合格的擴(kuò)散泵油防止裂化分解。
(4)擴(kuò)散泵臟化，污染物留在泵內(nèi)重復(fù)循環(huán)，應(yīng)對擴(kuò)散泵進(jìn)行清洗，并更換泵油。
使用注意事項(xiàng)
(1)定期檢查泵的性能，更換符合要求的擴(kuò)散泵油，參見使用說明書。
(2)擴(kuò)散泵加熱前及工作過程中冷卻水必須保證暢通，停止加熱后，必須保證泵油已完全冷卻后才能關(guān)閉冷卻水，具體冷卻到什么溫度才關(guān)閉冷卻水，詳見說明書。
(3)擴(kuò)散泵停止工作時，泵內(nèi)應(yīng)保持真空狀態(tài)，避免放人大氣造成泵油氧化，以延長泵油壽命。
(4)只有達(dá)到擴(kuò)散泵的前級真空度時，才能進(jìn)行加熱，否則會加速泵油的氧化。
(5)被抽的應(yīng)當(dāng)是干燥、無腐蝕、無灰塵氣體。
(6)如果擴(kuò)散泵正常工作時真空度突然下降，應(yīng)首先檢查加熱器是否斷路，再檢查是否存在漏點(diǎn)。
(7)新安裝的擴(kuò)散泵達(dá)不到極限真空度，應(yīng)檢查密封是否可靠，裝配是否正確。
(8)擴(kuò)散泵工作過程中，應(yīng)注意前級機(jī)械泵的工作情況，因?yàn)榍凹墮C(jī)械泵變壞后，直接影響油擴(kuò)散泵的正常工作。
(9)要求機(jī)械泵的極限壓力應(yīng)比擴(kuò)散泵前級壓力低一個數(shù)量級。
保養(yǎng)注意事項(xiàng)
(1)油擴(kuò)散泵安裝或維修時應(yīng)垂直放置，使泵芯部件處于正常工作狀態(tài)。
(2)清洗零件及泵腔時，先用航空汽油清洗，然后用絲綢蘸乙醚或丙酮進(jìn)行擦洗，并置于80-100℃下烘干或用電吹風(fēng)吹干。
(3)清洗完畢后，按順序進(jìn)行裝配，注意保持泵芯與泵底垂直，并與泵腔同心，各級噴嘴間隙要按原要求調(diào)整好。
(4)連接密封處，橡膠密封應(yīng)可靠。
(5)擴(kuò)散泵如暫時不用，保管期問應(yīng)在室溫保持真空狀態(tài)，以免泵油污染和零件腐蝕，并將冷卻水套內(nèi)的剩水吹凈。
(6)在長期工作后，泵性能逐漸變壞，應(yīng)檢查油量是否減少或氧化，必要時增添油量，更換新油時要清洗后烘干。
