
正壓檢漏法和負壓檢漏法
正壓檢漏法
正壓檢漏法是在真空電阻爐內充人一定壓力的示漏氣體,如果爐體或真空管道存在漏孔,示漏氣體便從漏孔漏出。當漏率較大時,可通過觀察漏孔處發生的現象來檢查漏孔位置;如果漏率較小不便直接觀察,可采用專用檢漏儀器,靠近爐體或真空管道緩慢移動檢漏儀器的探頭,檢測漏出的示漏氣體,從而判定漏孔的位置及漏率的大小。
負壓檢漏法
負壓檢漏是把高溫箱式電阻爐抽成真空狀態,在爐體或真空管道外部施加示漏氣體,如果存在漏孔,示漏氣體就會通過漏孔進入爐內,利用安裝在爐內的氣體探頭檢測出示漏氣體來確定漏孔的位置,同時測量出漏率的大小。負壓檢漏分為靜態檢漏和動態檢漏。采用靜態檢漏時,把電阻爐抽成真空狀態后,關閉所有閥門和真空系統,用真空計進行檢漏,這種方法可以確定漏孔的位置,但很難測量出漏率的大小。
目前多采用動態檢漏,即檢漏是在真空系統工作狀態下進行,示漏氣體沿爐子外部巡回噴出,一旦噴到漏氣處,示漏氣體便被吸人爐內,內部的探頭發生反應,輸出變化的電信號被外部儀器測量。噴氣嘴離開漏孔后,真空系統把爐內的示漏氣體抽走,恢復到原來的空氣流,探頭恢復原來狀態,這樣就確定了漏孔位置。對真空電阻爐而言,真空計檢漏法比較經濟實用。
熱傳導真空計和電離真空計的讀數與氣體種類有關,只要選用合適的示漏氣體,真空規管就變成了氣敏探頭,真空計也就成了檢漏儀。
熱傳導真空計遇到氫氣、二氧化碳、丁烷、丙醚、乙醚、酒精等氣體時,讀數會發生變化,可用這些物質做示漏氣體進行噴吹檢漏。采用電離
真空計檢漏時,氫、氦、氫、苯、丁烷、丙醚、乙醚及丙酮等能使讀數發生較大變化,因而可用它們做示漏氣體。由于熱傳導真空計反應比較
慢,就是反應快的電離真空計,由于示漏氣體在真空系統內建立分壓需要一定時間,巡回噴吹的速度都不能太快,而且還要判斷是壓力的變化還是真空計本身的漂移。檢漏過程中,只有示漏氣體離開后,真空計能恢復到原來的狀態,該位置才是真正的漏孔。