無油渦旋真空泵的優(yōu)點(diǎn)

    無油渦旋真空泵的主要優(yōu)點(diǎn)主要包括：

    ①.密封性良好,沒有向機(jī)械泵那樣直接連接吸、排氣腔的泄漏通道,容易密封,容易達(dá)到較高的真空度。

    ②.回轉(zhuǎn)半徑小，動靜渦旋盤相對滑動速度僅為旋片真空泵的1/7左右，動靜渦旋盤之間的動密封相對容易，有利于延長泵的使用壽命。

    ③壓縮進(jìn)程必較緩慢，有2個或者3個壓縮過程同時進(jìn)行，壓縮腔相對曲軸對稱，這樣泵的運(yùn)轉(zhuǎn)過程平穩(wěn)、驅(qū)動力矩和氣體沖擊波動小，使泵的噪音和振動降低。

總而言之，無油渦旋真空泵結(jié)構(gòu)簡單、具有較高的壓縮比，在較寬的壓力范圍內(nèi)有穩(wěn)定的抽速，工作壓力范圍寬；動靜渦旋盤之間間隙小、泄漏少，由于壓縮腔容積的變化是連續(xù)的，因而驅(qū)動扭矩變化小，功率變化小,振動噪聲低，可靠性高。這是其它類型的干式真空泵所不具備的。

2．無油渦旋真空泵解決了污染與振動等基礎(chǔ)、共性問題 

    由于普通旋片油泵的漏油、噪聲、返油污染、高能耗以及振動等問題給用戶造成不良影響，如生物制品行業(yè)與半導(dǎo)體行業(yè)的油蒸汽污染與工藝系統(tǒng)返油問題。真空鍍膜設(shè)備的鍍膜工藝中，在20～40Pa真空條件下鍍膜時，如果應(yīng)用普通旋片機(jī)械真空泵作為前級真空泵將對鍍膜工藝設(shè)備造成污染，影響成膜質(zhì)量。

      半導(dǎo)體晶片制造工藝當(dāng)中使用油泵與使用于泵相比，成品率存在明顯的差距，并且排出的油霧蒸汽對環(huán)境也有污染.科學(xué)儀器行業(yè)尤其是在分析測試儀器行業(yè)，采用油泵對測試結(jié)果將造成不良影響。大型同步輻射光束線上采用無油渦旋真空泵作為前級真空泵的作用也相當(dāng)明顯。另外無油渦旋真空泵消除了普通油泵的漏油給用戶帶來的環(huán)境污染與煩惱?，F(xiàn)有無油渦旋真空泵用戶的使用情況也證明了這種泵的優(yōu)越性和可靠性。

3.無油渦旋真空泵使系統(tǒng)制造與運(yùn)行成本降低 

    為防止普通旋片油真空泵對真空系統(tǒng)的返油污染,需要在抽氣系統(tǒng)中加冷阱捕獲油分子；系統(tǒng)運(yùn)行過程當(dāng)中還需要定期清洗除油；有的需要定期更換真空泵油.采用無油渦旋真空泵第一部需要加冷阱之類捕油機(jī)構(gòu)、第二不需要更換真空泵油、第三振動更小、運(yùn)行更平穩(wěn)、第四能耗降低、第五重量更輕、第六突破了油泵使用范圍的限制。這些優(yōu)點(diǎn)使無油渦旋真空泵成為普通旋片油真空泵的更新?lián)Q代產(chǎn)品。

  關(guān)鍵字：無油渦旋真空泵的優(yōu)點(diǎn)，單級渦旋式干泵  ，密封多極渦旋式干泵 
   美國VARIAN公司是當(dāng)今世界上最具影響力的真空產(chǎn)品制造商之一，Varian公司利用干式渦旋真空獲得技術(shù)為用戶提供了高抽速，低極限壓強(qiáng)的真空泵產(chǎn)品,專為潔凈的無油系統(tǒng)設(shè)計(jì)，抽氣范圍從大氣壓至10^-2mbar。這種干泵具有全無油、高耐用性、高可靠性以及易維護(hù)等優(yōu)勢，是眾多應(yīng)用領(lǐng)域的理想前級真空獲得產(chǎn)品。