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真空區(qū)域劃分

真空區(qū)域劃分

      

　
真空區(qū)域
壓強(qiáng)范圍
托(Torr)
帕(Pa)
低真空
760~10
101325~1333
中真空
10~10-3
1333~1.33×10-1
高真空
10-3~10-8
1.33×10-1~10-6
超高真空
10-8~10-12
10-6~10-10
極高真空
＜10-12
＜10-10
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