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BOC Edwards：覆蓋全球市場 聚焦中國客戶
BOC Edwards在SEMICONCHINA2007重點展示了其最新一代氣體凈化處理系統(tǒng)ATLAS系列產品線。該系統(tǒng)使用NF3氣體及等離子體處理技術，能夠以較低的成本處理包括增強型等離子化學氣相淀積、高密度等離子化學氣相淀積、鎢化學氣相淀積在內的各類化學氣相淀積工藝排放的氣體。設備可以凈化處理包括氟、硅烷、四乙基原硅酸鹽、六氟化鎢、氨氣等各類氣體。ATLAS的操作工序包括燃燒處理（該項內燃燒技術已被廣泛認可）和兩步濕法清洗處理，它可以滿足廢氣、粉塵處理的各項需求，并且具備優(yōu)異的耐腐蝕能力。ATLAS支持多達6路氣體輸入并具有包括溫控系統(tǒng)在內的多種可選配件。AtlasTPU系統(tǒng)可以進行PFC和ClF3氣體處理；AtlasKronis可以進行低K材料CVD工藝排氣處理。通過降低額外組件的數量，整套價值引導的產品具有與BOC其他產品同樣卓越的性能和核心可靠性，但資本成本更低，極大地降低了購置成本。據BOCEdwards中國區(qū)總經理許堅介紹，BOC目前的業(yè)務主要分為半導體設備和一般真空系統(tǒng)兩大塊。由于2006年全球半導體產業(yè)成長和投資加大，BOC半導體設備部門全球銷售額超過10億美元，比上年增長了25％；隨著亞洲地區(qū)工業(yè)化進程加快，BOC一般真空系統(tǒng)業(yè)務也在不斷增長。同時，由于Hynix-ST200和300mm存儲器芯片前端制造廠開業(yè)、中芯國際300mm晶圓廠量產以及國內TFT-LCD事業(yè)的迅速發(fā)展等，BOC中國區(qū)業(yè)務也實現了翻番。
對于在中國市場的成功經驗，許堅總結了兩點：一是貼近客戶，半導體業(yè)設備投資巨大，對其穩(wěn)定性要求非常高，作為供應商需要緊緊跟隨客戶需求提供一整套的服務和on-site支持，讓客戶更好的集中于芯片制造，從本質上為客戶實現成本控制和高運行效率；二是在中國建立完善的供應和服務系統(tǒng)，鑒于中國半導體制造業(yè)分散化的特點，目前BOC在國內建立了多個分公司的服務和供應網絡，及時應對客戶需求。據介紹，座落于上海外高橋保稅區(qū)的比歐西貿易（上海）有限公司擁有一個大型維修中心，占地8500平方米，其中辦公室用地100平方米，維修車間及真空產品倉庫用地2000平方米，而氣體倉庫用地為700平方米。維修中心能夠提供全面的銷售及維修服務，并由一個完善的管理架構作支持。除此之外，這服務中心的設計和建造是遵照比歐西愛得華的統(tǒng)一標準進行設計及建造，而且嚴格遵照比歐西愛德華的服務標準和運行要求。
許堅指出，隨著半導體及相關工業(yè)向更先進工藝的推進，行業(yè)對真空設備提出了更高的要求。真空設備需要更高的可靠性以減少生產的故障率；能源的昂貴和工廠資本高投入，需要通過新技術和新產品的開發(fā)來降低運行成本和擁有成本；半導體制造設備持續(xù)變大，大設備需要大的抽氣量和快速達到真空度要求。對于尾氣處理系統(tǒng)而言，許堅認為，目前國內加大了對環(huán)保的重視，對廢氣排放要求變得嚴格，同時，客戶對于環(huán)境和安全意識加重，對毒性和易燃性廢氣的排放也提出了更高的要求。
談及未來BOC在中國的發(fā)展，許堅指著背后的“覆蓋全球，聚焦中國”標語介紹道，BOCEdwards還將繼續(xù)對中國業(yè)務進行新的大型投資，加強服務體系的建設，并計劃在北京、深圳和成都三地擴大規(guī)模。在過去與制造商的合作中積累了大量的應對300mm和先進工藝的經驗，并將之引入國內，另外，繼續(xù)加強同業(yè)內領先供應商如應用材料共同開發(fā)適應市場需求的設備，許堅相信BOCEdwards在國內的業(yè)務仍將持續(xù)成長。
