真空泵是結(jié)晶硅和太陽(yáng)能電池制造過(guò)程中的重要基礎(chǔ)設(shè)備，用于從硅片成形到最終層壓的重要制程。基于第5代和第8代玻璃的薄膜太陽(yáng)能電池對(duì)真空的要求比基于硅的電池幾乎要高出6倍，并對(duì)有毒和PFC廢氣的減排提出更大挑戰(zhàn)。有著90多年歷史的Edwards公司，今年7月獲得2011年SEMICON West可持續(xù)技術(shù)獎(jiǎng)，就是對(duì)其不斷創(chuàng)新能力的充分肯定。

Edwards亞太區(qū)總裁Neil Lavender-Jones稱，Edwards是唯一能為全球范圍太陽(yáng)能電池制造商提供廣泛的真空和尾氣處理設(shè)備系列的制造商，其設(shè)備用于太陽(yáng)能電池和LED制造的多個(gè)工藝階段。Edwards的工藝和專有技術(shù)涵蓋晶體和薄膜光伏(PV)太陽(yáng)能行業(yè)，并致力于服務(wù)太陽(yáng)能行業(yè)，投資開(kāi)發(fā)環(huán)保技術(shù)，降低發(fā)電成本。Edwards擁有豐富多樣的適用于太陽(yáng)能行業(yè)與生物燃料行業(yè)的真空產(chǎn)品，并提供支撐這些新興技術(shù)制程所需的所有真空專業(yè)技能。

Edwards面向太陽(yáng)能設(shè)備制造應(yīng)用開(kāi)發(fā)出iXH真空泵系列產(chǎn)品，以應(yīng)對(duì)光伏行業(yè)面臨環(huán)境、健康和安全的挑戰(zhàn)。在太陽(yáng)能電池的制造過(guò)程中，需要使用泵機(jī)抽取輸送大量的氫氣，而iXH系列在設(shè)計(jì)上采用緊湊、經(jīng)濟(jì)、節(jié)能且易于配置的模塊化系統(tǒng)，能夠同時(shí)滿足硅及薄膜太陽(yáng)能電池制造的泵機(jī)抽取輸送需求，解決了在針對(duì)太陽(yáng)能電池制造沉積TCO薄膜中涉及的泵難題，結(jié)合Edwards的iXH干泵系統(tǒng)與分子真空泵和減排系統(tǒng)，便能為太陽(yáng)能設(shè)備制造提供種類齊全的泵機(jī)抽取輸送與廢氣管理產(chǎn)品體系。

氫氣分子體積小、粘性低，用泵機(jī)很難抽取輸送。iXH泵送系統(tǒng)使用了一系列大容量泵機(jī)與增壓泵，以達(dá)到有效抽取輸送氫氣所需的最佳壓縮比。該系統(tǒng)采用模塊化設(shè)計(jì)，各部件可上下堆疊，從而實(shí)現(xiàn)業(yè)界最小的占地面積，且具備高度可配置性，既滿足了硅或薄膜類太陽(yáng)能設(shè)備的現(xiàn)場(chǎng)安裝要求，又符合其制造工藝的性能標(biāo)準(zhǔn)。

根據(jù)具體的應(yīng)用要求而配置的多個(gè)iXH模塊，由同一個(gè)控制器進(jìn)行管理，對(duì)于操作員而言，它們是一個(gè)易于使用、完美集成的真空系統(tǒng)。在泵送系統(tǒng)的使用壽命周期內(nèi)，使用Edwards的新型iXH干泵便不需進(jìn)行預(yù)防性維護(hù)，從而幫助進(jìn)一步降低系統(tǒng)擁有成本。Neil表示，面向半導(dǎo)體與太陽(yáng)能光伏制造業(yè)的FabWorks監(jiān)視與分析系統(tǒng)，借助FabWorks V2軟件所提升的工廠效率能在一年之內(nèi)收回軟件的安裝成本。

為太陽(yáng)能光伏制造選擇合適的真空和減排技術(shù)，可降低先期成本、能耗、維護(hù)要求、排放并提高了操作人員的安全性。FabWorks V2是一個(gè)許可軟件包，可以集成于服務(wù)合同中。Neil介紹，F(xiàn)abWorks V2是一個(gè)網(wǎng)絡(luò)服務(wù)器，可以同時(shí)支持LonWorks?設(shè)備與以太網(wǎng)設(shè)備，一個(gè)預(yù)裝了FabWorks V2的服務(wù)器最多能監(jiān)視3000個(gè)設(shè)備（如泵機(jī)與減排系統(tǒng)設(shè)備）。FabWorks V2還提供多個(gè)選項(xiàng)，能進(jìn)一步縮減工廠運(yùn)行成本并提供高價(jià)值服務(wù)。其中包括Edwards的高級(jí)診斷服務(wù)(ADS)、智能警報(bào)功能(通過(guò)傳呼機(jī)/電子郵件/短信與RSS發(fā)送警報(bào)）、開(kāi)放式連接（通過(guò)GEM/SECSII或OPC)及定制報(bào)告。

ADS可以降低工具總擁有成本，避免工藝中發(fā)生系統(tǒng)停頓，幫助客戶延長(zhǎng)正常運(yùn)行時(shí)間，而系統(tǒng)停頓會(huì)降低良品率，從而影響產(chǎn)量。該服務(wù)能夠進(jìn)一步幫助用戶優(yōu)化其維護(hù)成本。

高級(jí)的制程真空和減排成套技術(shù)及優(yōu)質(zhì)的全球服務(wù)，為太陽(yáng)能市場(chǎng)貢獻(xiàn)自己的力量。新產(chǎn)品將專注于減少晶體硅(c-Si)和薄膜PV太陽(yáng)能電池的每瓦制造成本。

市場(chǎng)上存在不同類型的太陽(yáng)能電池，但所有的制造過(guò)程均使用真空和減排技術(shù)，太陽(yáng)能光伏制造業(yè)在世界各地的快速發(fā)展，推動(dòng)了高級(jí)真空和減排解決方案在各個(gè)地區(qū)市場(chǎng)中的增長(zhǎng)。Neil稱，Edwards在真空和減排市場(chǎng)上均處于領(lǐng)先地位，為客戶提供有助于降低每瓦晶體硅電池和薄膜電池成本的創(chuàng)新設(shè)備和集成解決方案。

Neil表示，晶體硅及薄膜太陽(yáng)能電池生產(chǎn)需要基于真空的解決方案，太陽(yáng)能電池板成本進(jìn)一步降低技術(shù)則是關(guān)鍵，而領(lǐng)先的真空技術(shù)、緊密的團(tuán)隊(duì)合作及與客戶間的相互信任，是Edwards得到中國(guó)用戶認(rèn)可的關(guān)鍵要素，Edwards與中國(guó)市場(chǎng)共成長(zhǎng)。