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真空設備[1]的抽氣過程和真空工藝過程中壓強和殘余氣體成分是關系到工藝質量的重要指標，因此，任何抽氣系統中都要采用真空計和質譜計分別測出工藝過程中的壓強和氣體成分。顯然，很少用一種真空計來測量所有真空度范圍的壓強，而是采用不同類型的真空計分別進行相應范圍內壓強的測童。常用的真空計為:
1.靜態變形真空計
它是根據氣體分子作用在彈性元件上的力與壓強有關的原理而測量氣體壓強的，而且測址的壓強范圈較高。
2.靜態液體真空計
利用注入水銀或擴散油泵的U形管兩邊的液面高度差來指示系統中壓強，這是一種最簡單的真空計，用來側量粗真空范圍內壓弧。
3.麥民計
麥氏計又稱為壓縮式真空計，它是根據玻義耳一馬略特定律，將氣體壓縮，壓強升高，使玻管中出現液面的高度差來指示氣體壓強的。這是一種絕對真空計，常用來對其它真空計進行校準刻度。
4.熱傳導真空計
利用氣體分子的熱傳導在某壓強范圍內與氣體分子數有關來間接測量出系統中的壓強，通常有電阻真空計(即皮雷尼真空計)和熱偶真空計兩種。
5.電離真空計
利用氣體分子與帶電粒子相碰撞而產生電離，收集正離子流，并側量出它們的數值，便可間接地指示氣體的壓強。屬于電離真空計的有普通熱陰極電離真空計、中量程真空計、B-A計、冷陰極放電真空計、各種磁控電離真空計和側量10-10。帕以下壓強的極高真空計
(如彎注規、抑制規等)。
另外，在生產中常采用高頻火花發生器從外部激發真空系統的玻瑞部分，以氣體放電顏色來鑒別真空度。這是因為自由電子與氣體分子相碰撞而產生分子躍遷時會發出不同頗色。電子具有的能盆大，氣體分子獲得的能量也大，分子得到能量后外層電子被激發躍遷，由于‘它們處于不穩定狀態，很快又恢復到原先的穩定狀態，并以光的形式放出這部分能量．
