當(dāng)前位置： 首頁>>半導(dǎo)體干泵|英國愛德華真空泵 >>iGX系列干泵 iGX系列干泵
概述
iGX 干式真空泵系列為大修之間零維護(hù)樹立了新標(biāo)準(zhǔn)。效率提高的同時(shí)降低了運(yùn)行成本，并在整個(gè)壓力范圍內(nèi)保持連續(xù)一致的泵送能力。
iGX 干泵包括以太網(wǎng)連接功能，允許通過網(wǎng)頁查看主要數(shù)據(jù)，另外還包括一套全面的網(wǎng)絡(luò)選項(xiàng)，可確保泵持續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)。
iGX 泵的峰值速度范圍很寬，并可以改變以適合各種應(yīng)用條件，包括從清潔到中等負(fù)載的各種工藝。模塊化設(shè)計(jì)允許用戶對 iGX 干泵進(jìn)行配置以適合各個(gè)工廠的要求。超緊湊的占地面積允許使用包括工具上、近程和遠(yuǎn)程在內(nèi)的多種安裝選項(xiàng)。
應(yīng)用
負(fù)載鎖
輸送
計(jì)量
功能和優(yōu)勢
低運(yùn)行成本
與 iL/iH 干泵相比，設(shè)施成本最多可降低 50%
無需預(yù)防性維護(hù)
靈活的安裝選項(xiàng)
小巧輕便，便于安裝
工具上、近程或遠(yuǎn)程
可以改進(jìn)工具吞吐量
可用的最快的負(fù)載鎖定泵之一
全程一致的泵送性能
在 50 和 60 Hz 下抽速相同
降低了環(huán)境噪音
僅 55 dB(A)
峰值速度范圍寬
100、300、600 和 800 m3h-1
技術(shù)數(shù)據(jù)
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峰值速度 |
105 m3h-1 |
620 m3h-1 |
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62 cfm |
365 cfm |
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1750 l min-1 |
10333 l min-1 |
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極限壓力 |
5.00E-03 mbar |
7.00E-04 mbar |
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3.75E-03 Torr |
5.25E-04 Torr |
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0.50 Pa |
0.07 Pa |
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AUC（有源設(shè)備控制器） |
0.05 kW |
0.05 kW |
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水入口* |
1 slm |
2 slm |
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氮 |
0 slm |
0 slm |
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占地面積（不包括排氣裝置） |
0.20 m2 |
0.20 m2 |
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重量 |
120 kg |
220 kg |
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進(jìn)氣口連接 |
ISO63 |
ISO100 |
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出口連接 |
NW25 |
NW25 |
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極限噪音 |
< 55 dB(A) |
< 55 dB(A) |
