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概述
nEXT是一種是混合軸承復合分子泵。它隨附 ISO或 CF入口法蘭。nEXT 泵將我們的成熟軸承技術（油潤滑的陶瓷下方軸承和干燥的永磁性上方軸承）以及采用新分子分級技術的改進轉子設計結合在一起，以提供改進的抽速和壓縮比，同時提供真正的用戶可維護性。 它們采用 24V 到 48V 的直流無傳感器電機，具備內置的驅動，完全兼容我們的 TAG 和 TIC 控制器系列。 該分子泵有 80W 和 160W 兩種最大預設功率可選。前者適用于我們的 100W TIC 控制器，也是泵送氬氣時的建議選擇，但該功率下達到完全運行速度的加速時間比較長。
基本的泵系統可能需要 nEXT 泵、TAG 或 TIC 控制器，空氣或水冷卻附件以及合適的前級泵。
功能和優勢
最新的轉子設計提高了性能，可以實現卓越的抽速和壓縮比
最終用戶可以在極短的時間內完成徹底的維修，無需復雜的工具或大卸...您就可以完成！
設計緊湊，性能卓越，可以實現高效系統化
與 Edwards TIC 渦輪和儀器控制器兼容意味著您可以添加多達 3 個真空計而不需要額外的真空計控制器
符合 RoHS 并獲得 CSA/UL 認可
技術數據
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nEXT240D |
nEXTt300D |
nEXT400D |
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入口法蘭 |
DN100ISO-K，DN100CF |
DN100ISO-K，DN100CF |
DN160ISO-K，DN160CF |
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出口法蘭 |
DN25NW |
DN25NW |
DN25NW |
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抽速 |
? |
? | |
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? N2 |
240 ls-1 |
300 ls-1 |
400 ls-1 |
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? He |
230 ls-1 |
340 ls-1 |
390 ls-1 |
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? H2 |
165 ls-1 |
280 ls-1 |
325 ls-1 |
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壓縮比 |
? |
? | |
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? N2 |
>1 × 1011 |
>1 × 1011 |
>1 × 1011 |
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? He |
3 x 105 |
1 x 106 |
1 x 108 |
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? H2 |
1 x 104 |
5 x 104 |
5 x 105 |
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針對 RV 前級泵 ISO/CF 的極限壓力 |
<6 x 10-8/<5 x 10-10 mbar |
<6 x 10-8/<5 x 10-10 mbar |
<1 x 10-8/<1 x 10-10 mbar |
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推薦前級泵* |
RV12/nXDS10i |
RV12/nXDS10i |
RV12/nXDS10i |
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排氣口 |
1/8 英寸 BSP 母頭 |
1/8 英寸 BSP 母頭 |
1/8 英寸 BSP 母頭 |
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吹掃口 |
1/8 英寸 BSP 母頭 |
1/8 英寸 BSP 母頭 |
1/8 英寸 BSP 母頭 |
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最大連續入口流量（氮氣）? |
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? | |
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水冷卻（15°C 的水，40°C 的環境溫度） |
45 sccm |
95 sccm |
105 sccm |
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強制空氣冷卻，35°C 環境溫度 |
30 sccm |
115 sccm |
90 sccm |
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泵旋轉速度 |
? |
? | |
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標稱旋轉速度 |
60000 rpm |
60000 rpm |
60000 rpm |
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待機旋轉速度 |
可在 33000 至 60000 rpm 之間變化（默認為 42000 rpm） |
可在 33000 至 60000 rpm 之間變化（默認為 42000 rpm） |
可在 33000 至 60000 rpm 之間變化（默認為 42000 rpm） |
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可編程功率限制設置 |
可在 50 至 200W 之間變化（默認為 160W） |
可在 50 至 200W 之間變化（默認為 160W） |
可在 50 至 200W 之間變化（默認為 160W） |
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到 90% 速度的啟動時間 |
115s? |
145s? |
180s? |
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模擬輸出 |
泵旋轉速度； |
泵旋轉速度； |
泵旋轉速度； |
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冷卻方法# |
強制空氣/水 |
強制空氣/水 |
強制空氣/水 |
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強制空氣冷卻的環境空氣溫度 |
5 - 35°C |
5 - 35°C |
5 - 35°C |
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最小冷卻水流速（15°C 的水） |
15 l h-1 |
15 l h-1 |
15 l h-1 |
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水溫范圍 |
10 - 20°C |
10 - 20°C |
10 - 20°C |
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最高入口法蘭溫度 |
75°C |
80°C |
70°C |
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操作姿態 |
垂直且豎直，直到 |
垂直且豎直，直到 |
垂直且豎直，直到 |
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1 米處的噪音級別 |
<45 dB(A) |
<45 dB(A) |
<45 dB(A) |
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泵可以承受的最大磁場 |
5 mT |
5 mT |
5 mT |
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推薦控制器 |
TIC200 分子泵和儀器控制器 |
TIC200 分子泵和儀器控制器 |
TIC200 分子泵和儀器控制器 |
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靜止電功率 |
通常為 20W |
通常為 20W |
通常為 20 W |
